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中文名称：表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM，如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准
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英文名称：Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：17
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发布日期：2024-03-15
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实施日期：2024-10-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：ISO 18115-2
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采用标准化：ISO 13083-2015,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2024年第1号
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标准摘要：
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