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中文名称：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
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英文名称：Carbon based films. Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
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原文名称：
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中标分类：A29
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ICS分类：25.220.99
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2024-09-29
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实施日期：2025-04-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：
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采用标准化：ISO 23216-2021,MOD
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2024年第22号
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标准摘要：
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