标准号：GB/T 10067.417-2023

现 行

中文名称：电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置

英文名称：Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations. Part 417:Silicon carbide crystal growth installations

原文名称：

中标分类：K61	ICS分类：25.180.10
标准分类编号：CN	页数：17

发布日期：2023-05-23	实施日期：2023-12-01	作废日期：
被替代标准：	代替标准序号：
引用标准：GB/T 150.1;GB/T 150.2;GB/T 150.3;GB/T 150.4;GB/T 2900.23-2008;GB 3095-2012;GB/T 5959.1-2019;GB 8978-1996;GB/T 10066.1-2019;GB/T 10066.4-2004;GB/T 10067.1-2019;GB/T 10067.4-2005;GB 12348-2008;GB 16297-1996;JB/T 9691-1999
采用标准化：

补充修订：

标引依据：国家标准公告2023年第2号

标准摘要：本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法,检验规则,标志,包装,运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下,采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置,采用高频感应加热的生长碳化硅单品的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置,其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。

关联标准：

GB/T 10067.37... 电热和电磁处理装置基本技术条件 第37部分:超导直流感应透热装置 未实施 GB/T 40816.1-... 工业炉及相关工艺设备 能量平衡测试及能效计算方法 第1部分:通用 未实施 GB/T 40816.2-... 工业炉及相关工艺设备 能量平衡测试及能效计算方法 第2部分:钢加 未实施 GB/T 37752.5-... 工业炉及相关工艺设备 安全 第5部分:钢带连续退火炉 未实施 GB/T 10067.6-... 电热和电磁处理装置基本技术条件 第6部分:工业微波加热装置 现 行 GB/T 10067.10... 电热和电磁处理装置基本技术条件 第101部分:真空电热和电磁处理 现 行 T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉 现 行 GB/T 10067.41... 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置 现 行 GB/T 41994-2022 工业炉及相关工艺设备 电弧炉炼钢机械和设备的安全要求 现 行 GB/T 20115.1-... 工业燃料加热装置基本技术条件 第1部分:通用部分 现 行

上一页  共30页,当前第1页 下一页